其中清洁度是表示清洁度的单位,包括Class100、Class10等,Class10是指:1立方英尺范围内,0.1微米的以上的灰尘小于10个的环境!
IAI洁净室电缸的与普通的电缸在结构上区别是有个外置套管,如下图红色部分,这个套管的目的是将电缸内部即密封壳内的空气排出,需要外接气管,通出洁净室外!
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